เนื้อหาวันที่ : 2006-12-13 09:58:29 จำนวนผู้เข้าชมแล้ว : 1338 views

Entegris ประสบความสำเร็จครั้งสำคัญในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

ความสำเร็จครั้งนี้แสดงให้เห็นถึงการใช้เทคโนโลยีแวดล้อมอย่างกว้างขวางทั่วอุตสาหกรรม สำหรับทางเลือกที่น่าเชื่อถือและคุ้มราคากว่าระบบการปรับปรุงคุณภาพก๊าซแบบเดิม

ความสำเร็จครั้งนี้แสดงให้เห็นถึงการใช้เทคโนโลยีแวดล้อมอย่างกว้างขวางทั่วอุตสาหกรรม สำหรับทางเลือกที่น่าเชื่อถือและคุ้มราคากว่าระบบการปรับปรุงคุณภาพก๊าซ(Gas Purification) แบบเดิม ในการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์และเซมิคอนดักเตอร์แบบผสม

Entegris Inc. ประสบความสำเร็จครั้งสำคัญในอุตสาหรรมโดยแสดงให้เห็นถึงการใช้เทคโนโลยีแวดล้อมให้เป็นทางเลือกที่น่าเชื่อถือและคุ้มราคามากกว่าระบบ Gas Purification แบบเดิม Entegris ซึ่งเป็นผู้บุกเบิกการใช้อากาศสะอาดและแห้งในการทำให้ก๊าซบริสุทธิ์ เพิ่งติดตั้งระบบ Aeronex(R) ลำดับที่ 300 การใช้เทคโนโลยีแวดล้อมเพื่อลดการปนเปื้อนที่เกิดจากก๊าซและไฮโดรคาร์บอนที่ไม่มีมีเทนไปสู่ระดับ sub-parts-per-billion (ppb) ทำให้ระบบในตระกูล Aeronex ไม่ต้องใช้พลังงานหรือความร้อนเพื่อทำให้ก๊าซบริสุทธิ์ ซึ่งทำให้ผู้ผลิตมีค่าใช้จ่ายน้อยมากในการเป็นเจ้าของระบบนี้

.

อุตสาหกรรมนี้ได้เรียกร้องทางเลือกแทนระบบ gas purification แบบเดิมที่อาจสร้างความผันแปรให้กับกระบวนการ ลดผลผลิต และลดอายุการใช้งานของเครื่องมือแพททริค แม็คคินนี่ รองประธานและผู้จัดการทั่วไปฝ่าย Microenvironments ของ Entegris กล่าว ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์เริ่มเล็งเห็นประโยชน์จากการลดค่าใช้จ่ายทั้งหมดจากการเป็นเจ้าของระบบ และการได้รับก๊าซบริสุทธิ์อย่างต่อเนื่องตามปริมาณที่ต้องการด้วยการใช้ระบบ Aeronex วิธีนี้เป็นทางเลือกที่ชัดเจน และดึงดูดกว่าวิธีการเดิมที่ใช้กันมาเป็นเวลานาน

.

ระบบ Aeronex ซึ่งใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเซมิคอนดักเตอร์แบบผสมนี้ กำจัดปัญหาเรื่องความปลอดภัยและความน่าเชื่อถือที่เกี่ยวข้องกับเซลล์ของธาตุพัลลาเดียม (Pd-cells) เช่นความดันสูง เซลล์เป็นพิษ และเซลล์แตกเนื่องจากไฟฟ้าดับ ระบบ Aeronex ไม่เหมือนเทคโนโลยีปรับปรุงคุณภาพก๊าซอื่นๆ ตรงที่ไม่มีไฮโดรคาร์บอนที่จะทำให้ก๊าซรั่วไปข้างนอกในสภาพปกติหรือสภาพอันตราย นอกจากนี้ Aeronex ยังกำจัดสิ่งปนเปื้อนจากกล่องบรรจุ reticle และกล่องขนส่งเวเฟอร์ในขณะที่ป้องกันหมอก ซึ่งเป็นผลพลอยที่มีค่าใช้จ่ายสูงที่ได้จากการผลิตเวเฟอร์

.

ผลิตภัณฑ์ทั้งหมดในตระกูล Aeronex ใช้ตัว purifier ที่ควบคุมได้เองโดยอัตโนมัติ เพื่อรักษาการลื่นไหลของก๊าซบริสุทธิ์ ระบบที่มีความพิเศษนี้จะเพิ่มความปลอดภัยโดยการนำ purifier ทั้งหมดไปไว้ในที่เดียวกัน อีกทั้งจะกำจัดความกังวลด้านสิ่งแวดล้อมด้วย ระบบ Aeronex ของ Entegris ทั้ง 300 ตัว ถูกนำไปติดตั้งในสหรัฐอเมริกา จีน เกาหลี ญี่ปุ่น เบลเยี่ยม อิสราเอล และประเทศอื่น ๆ ทั่วโลก